跟着半导体产业对12英寸晶圆需求的快速增长，中枢热经管开荒自主发展已成为撑捏半导体先进制程高质地发展的关节之一。近日，电科装备旗下中电科红太阳光电公司迎来产业化发展新恶果，国内首台12英寸卧式炉开荒奏凯发往客户现场。该开荒的成功研制，象征着国产半导体卧式热经管开荒在先进制程限度获取蹙迫能够，为半导体产业链供应链韧性和安全水平提供强力支捏。

本次发货的12英寸卧式炉开荒精确对标行业先进制程发展趋势，直击行业痛点，kaiyunsports重心攻克了卧式炉温场均匀性、流场均匀性、自动化轨则及颗粒轨则等时间卡点，全面知足了专用卧式炉开荒大尺寸晶圆经管、优异温度均匀性及高驱动慎重性等产线关节性能条款。同期，投注pp该开荒最先终了与客户端天车（OHT/AGV）系统的自动化对接，适配半导体限度关节热经管工艺，灵验完成开荒自动化集成，关节时间洽商达海外先进水平，切实保险了大尺寸晶圆高质地分娩制造智商。

翌日，电科装备将坚捏“产业强企”发展策略，麇集上风资源攻坚行业关节中枢时间，以硬核科技实力护航产业发展，为普及国度策略科技力量、终了高水平科技自立自立筑牢原始改换根基。

（光明日报全媒体记者崔兴毅）投注pp

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